飛納臺式掃描電鏡人性化軟件操作界面
飛納臺式掃描電鏡采用整塊材質(zhì)中間掏空制成，從而在同類產(chǎn)品中具有好的束流穩(wěn)定性，受外界環(huán)境的干擾更小，保證高分辨率及獲得細(xì)節(jié)更加豐富的圖像，采用幾塊材質(zhì)拼接而成，受外界干擾較大，束流穩(wěn)定性 較差，自然其圖像性能也大受影響。
飛納臺式掃描電鏡主要是利用二次電子信號成像來觀察樣品的表面形態(tài)，即用匯聚得很細(xì)小的電子束在樣品表面掃描，通過電子束與樣品的相互作用產(chǎn)生各種信號（如二次電子信號）來獲得材料表面細(xì)節(jié)信息。飛納臺式掃描電鏡由電子光學(xué)系統(tǒng)、信號收集及顯示系統(tǒng)、真空系統(tǒng)和電源系統(tǒng)組成。其中，電子光學(xué)系統(tǒng)又由電子槍、電磁透鏡、掃描線圈和樣品室等部件組成。工作時(shí)，電子槍發(fā)射出的電子束被電磁透鏡匯聚成極細(xì)的 電子束，在樣品表面進(jìn)行掃描，激發(fā)樣品表面產(chǎn)生二次電子。二次電子由探測器收集，并被閃爍體轉(zhuǎn)變成光信號。
二次電子產(chǎn)生的多少與樣品表面的形貌有關(guān)。樣品不同區(qū)域所激發(fā)出的二次電子的數(shù)量不同的，那么經(jīng)光電倍增管和放大器轉(zhuǎn)變成的電壓信號就有相應(yīng)的差別，反映在熒光屏上相應(yīng)部位也有或亮或暗的襯度差， 終得到一幅樣品表面放大的黑白圖像。分辨率較低的飛納臺式掃描電鏡的探測器一般位于電磁透鏡和樣品之間。在這種情況下，探測器和樣品的距離就比較近，樣品和透鏡的距離（工作距離）就比較遠(yuǎn)。事實(shí)上，飛納 臺式掃描電鏡的圖像分辨率與工作距離密切相關(guān)，距離長會(huì)導(dǎo)致圖像分辨率降低，而距離近則能提高圖像分辨率。
為了提高飛納臺式掃描電鏡的圖像分辨率，就要盡可能地縮短樣品和透鏡之間的距離，采用的方法就是把探測器往電磁透鏡上方移。這樣，工作距離就可以縮得很短。2000年以后，工作距離更短、圖像分辨率更高 的場發(fā)射掃描電鏡應(yīng)運(yùn)而生，并成為主流產(chǎn)品。而目前主流場發(fā)射飛納臺式掃描電鏡采用半浸沒式或全浸沒式電磁透鏡，也就是將探測器裝在電磁透鏡上方或者里面。
探測器在樣品和電磁透鏡之間的鎢絲燈掃描電鏡設(shè)計(jì)簡單，利用電場的作用來探測二次電子，只需要在探測器的前端加一個(gè)正電壓，探測器就可以將二次電子“吸過去”，收集起來。而場發(fā)射飛納 臺式掃描電鏡將探測器裝到電磁透鏡里面以后，雖然樣品和透鏡的距離拉近，但是探測器和樣品的距離卻變得更遠(yuǎn)了，收集二次電子的效率就會(huì)大大降低。
